斐索干涉仪，型号 : HO-OFIZ-215

作为用途最广泛的干涉仪，菲索干涉仪能够使用非接触配置测量平面和球面。其参考和测量光路相同，使其成为一种精巧、抗震的系统。菲索干涉仪在某种程度上类似于法布里-珀罗干涉仪，因为它们都由两个反射面组成。然而，在菲索干涉仪中，第二个表面通常是全反射的。有角度的分束器捕获参考和测量光束。

菲索干涉仪具有开放和垂直配置。它适用于平面和球面的常规测量。DPSS 激光器用作光源。垂直方向的光学布局使测试组件的放置变得容易。条纹由CCD相机捕获，并由计算机分析。该设备可用于制造中的光学质量控制以及实验室的常规检查。

它用于测量光学元件，例如平面、棱镜、透镜或精密金属零件，例如轴承、密封表面或抛光陶瓷。可以使用静态条纹分析软件进行测量。干涉仪基本上带有高光学质量的 λ/20 参考平面。测试表面的反射与参考平面的反射发生干涉，从而产生条纹。条纹的形状和质量取决于测试平面的表面质量。使用高分辨率CCD相机对条纹进行数字化。通过分析条纹，我们可以获得P-V平面度、RMS 平面度、3D表面图等。

仪器采用立式设计，可轻松固定测试样品。倾斜/倾斜测试底座可使测试样品与参考表面对齐。高质量的像差校正光学设计可提高性能。反射平面和参考球是可选的。也可根据要求提供定制解决方案。

包含的组件

DPSS 激光源 532nm (5 mW)、空间滤波器组件分束器、带支架的准直透镜、带支架的参考平面、测试平面支架、带 CCD的变焦透镜等。