电导率池测量设置是一种计算机化的电导率装置,通过改变真空中的温度来测量半导体薄膜样品的电导率。
测量时样品的温度可以设置为0环境温度至150℃的范围。通过施加0-300V的电压范围并测量产生的电流,在不同温度点测量电导率。软件记录电流曲线并绘制温度曲线。该过程在真空压力高达 10-2 mbar 的真空室内进行。旋转真空泵随仪器一起提供。
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